性欧美xxoo特大另类,亚洲天码中文字幕第一页,久久偷拍a视频免费播放,蜜芽忘忧草三区老狼大豆

技術文章您現(xiàn)在的位置:首頁 > 技術文章 > 如何克服因地面振動影響光刻系統(tǒng)的圖案質(zhì)量?
如何克服因地面振動影響光刻系統(tǒng)的圖案質(zhì)量?
更新時間:2021-02-05   點擊次數(shù):1751次

如何克服因地面振動影響光刻系統(tǒng)的圖案質(zhì)量?

振動對高級浸沒式光刻的影響 

 

沒有使用STACIS®

在原基座的彈性體或剛性版本上獲得jia模式

 

使用STACIS®

STACIS主動隔振實現(xiàn)的模式

   

        所示的45納米線寬測試圖形是由Amphibian Systems公司生產(chǎn)的*浸入式光刻系統(tǒng)生產(chǎn)的,安裝在德克薩斯州*的SEMATECH公司。圖像之間的差異是由于地震振動對光刻過程的影響。所顯示的圖像是使用掃描電子顯微鏡獲得的。

  

        該工具初安裝在鋼和混凝土基座上,基座采用鋼支撐結構,其中包含商業(yè)彈性體隔振墊。這個基座沒有達到工具要求的振動標準,模式質(zhì)量很差。

        為了減少振動,彈性體墊塊被有效地用金屬墊片短路,從而導致更剛性、非共振結構,但這幾乎沒有改善。振動標準不符合任何版本的基座和模式,質(zhì)量仍然很差。

        基座支撐結構被移除,并安裝了STACIS®主動壓電消振系統(tǒng)。STACIS基座被直接放置在現(xiàn)有的底座下面。將工具支撐在STACIS上,顯著降低了整體地震振動水平,并達到了制造商的地面振動規(guī)范。更重要的是,STACIS在模式質(zhì)量方面提供了顯著的改進。

 

不同配置的振動測量。工具規(guī)格:0.125 mils /s RMS。垂直軸數(shù)據(jù)顯示。

綠色:彈性體減振

白色:短路彈性體減振

藍色:STACIS減振        

 *Sematech提供的照片、圖像和振動數(shù)據(jù)。

 

關于TMC☆

      TMC為納米技術設計和制造*的建筑地面隔振系統(tǒng)。TMC隔離器支持超精密測量、儀器和制造。我們繼續(xù)領xian于行業(yè)*的主動、慣性振動消除系統(tǒng),具有壓電驅動器和數(shù)字控制器。我們的無源產(chǎn)品范圍從簡單的、桌面隔離顯微鏡底座,到幾乎任何尺寸的光學表系統(tǒng)。
      TMC產(chǎn)品讓光子學、半導體制造、生命科學、藥物發(fā)現(xiàn)和納米技術等領域的超精密研究、測量和制造成為可能。我們的產(chǎn)品是在*的、垂直一體化的制造設施中設計和制造的,并以提供優(yōu)質(zhì)服務的客戶承諾為后盾。
      TMC是阿美特克超精密測量部門成員,阿美特克是電子儀器和機電設備的突出者,年銷售額約為50億美金。為材料分析、超精密測量、過程分析、測試測量與通訊、電力系統(tǒng)與儀器、儀表與使用控制、精密運動控制、電子元器件與封裝、特種金屬產(chǎn)品等領域提供技術解決方案。

 

森泉光電為TMC中國區(qū)總代理。

森泉為您的科研事業(yè)添磚加瓦:

1  激光控制:激光電流源、激光器溫控器、激光器控制、伺服設備與系統(tǒng)等等

2  探測器:光電探測器、單光子計數(shù)器、單光子探測器、CCD、光譜分析系統(tǒng)等等

3  定位與加工:納米定位系統(tǒng)、微納運動系統(tǒng)、多維位移臺、旋轉臺、微型操作器等等

4  光源:半導體激光器、固體激光器、單頻激光器、單縱模激光器、窄線寬激光器、光通訊波段激光器、CO2激光器、中紅外激光器、染料激光器、飛秒超快激光器等等

5  光機械件:用于光路系統(tǒng)搭建的高品質(zhì)無應力光機械件,如光學調(diào)整架、鏡架、支撐桿、固定底座等等

6  光學平臺:主動隔振平臺、氣浮隔振臺、實驗桌、剛性工作臺、面包板、隔振、隔磁、隔聲綜合解決方案等等

7  光學元件:各類晶體、光纖、偏轉鏡、反射鏡、透射鏡、半透半反鏡、濾光片、衰減片、玻片等等

8 染料:激光染料、熒光染料、光致變色染料、光致發(fā)光染料、吸收染料等等

 

 

青島森泉光電有限公司

青島森泉光電有限公司

地址:山東省青島市黃島區(qū)峨眉山路396號光谷軟件園57號樓501

青島森泉光電有限公司 版權所有 備案號:魯ICP備18050584號-2  總訪問量:194148  站點地圖  技術支持:化工儀器網(wǎng)  管理登陸

干日本美女小穴| 大鸡巴操逼视频网址免费| 麻酥酥淫靡白浆| 亚洲AV片不卡无码电影| 脓性白带发黄是怎么回事| 国产丝袜精品黑色高跟鞋| 日韩国产福利久久久久久| 女人下面视频骚粉骚逼草| 人妻欧美精品片在线91| 一级a性色生活片久久| 中文字日产幕码三区国产| 黄色成人av网站在线进入| 97超碰在线免费观看视频| 成人性生交大片免费看96| 欧美日本中文一区二区三区| 成年人午夜免费福利视频| 欧美 大码 变态 另类| 交警的又粗又大好爽视频| 久久久久久国产精品999| 久久久久久久久一级毛片| 美女的下面网站| 国产又粗又长又猛又爽视频| 操大奶骚逼网址| 午夜不卡av免费| 91av地址在线观看免费| 久久伊人色av天堂九九| 欧美色综合天天在线影院| 欧美亚洲另类图片一二区| 里番工口侵犯肉全彩无码| 日韩爆插臭逼小视频网站| 真实的国产乱xxxx在线四季| 美女+吃坤+后射+情爱| 抽插在线喷水a| 国产亚洲91日韩精品激情| 国产在线观看观| 操女人骚逼浪逼淫逼视频| 大鸡抽,抽插同性恋男人| 午夜精品一区二区三区在线观看 | 小骚逼挨大屌狠劲操视频| 亚洲sss国产精品推荐| 农村熟妇乱子伦拍拍视频|