主動(dòng)隔振平臺采用*的慣性振動(dòng)傳感器、復(fù)雜的控制算法和*的壓電致動(dòng)器，通過連續(xù)測量地板活動(dòng)，擴(kuò)大和收縮壓電致動(dòng)器過濾地板振動(dòng)來進(jìn)行實(shí)時(shí)振動(dòng)隔離，在一開始的設(shè)計(jì)中，主要用于*半導(dǎo)體工廠的精密顯微光刻、計(jì)量和檢測設(shè)備振動(dòng)隔離， 如今也可以成為嘈雜環(huán)境中敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案，隨著技術(shù)的不斷提升，該隔振平臺廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓廠、失效分析實(shí)驗(yàn)室、納米技術(shù)研究、納米加工設(shè)備和材料研究。
相比于氣浮支腿，主動(dòng)隔振平臺更加堅(jiān)固可靠，且不存在氣浮隔振系統(tǒng)離不開氣源的局限性。它無氣浮支撐，并且與主動(dòng)的氣浮系統(tǒng)不同，可以放置在具有內(nèi)部主動(dòng)空氣隔離系統(tǒng)的設(shè)備下面，且兩個(gè)隔振系統(tǒng)相互兼容。此外，該隔振平臺設(shè)計(jì)有*的通信串口和專有high-force壓電技術(shù)導(dǎo)致其具有大的主動(dòng)帶寬0.6赫茲到150赫茲，以及從2Hz開始主動(dòng)振動(dòng)消除性能可達(dá)到90%。
主動(dòng)隔振平臺在世界各地有數(shù)百個(gè)成功安裝案例，對于大部分振動(dòng)敏感儀器來說都是理想的振動(dòng)消除系統(tǒng)。
